春秋为晋之地。战国前期属韩后属赵。
        秦属上党郡。
        西汉置谷远县。王莽时,改谷远为谷近县。
        三国为魏之地。晋废县,属上党郡。
        北魏孝庄帝(元子攸)建义元年,(公年528年)始置沁源县,县治在今城南一里许。同年,于沁源县置义宁郡,领团城、义宁、安泽、沁源等县。北齐,北周时,沿用不改。
        隋文帝(杨坚)开皇十六年(公元596年)治沁州,州治在沁源县城南。同年,沁源北部始置绵上县,属西河郡。隋炀帝(杨广)大业初,沁源属上党郡;隋恭帝(杨侑)义宁元年,仍复义宁郡。
        唐高祖武德初,复沁州治。同年,又在沁源西部,分设招远县,沁州,三年废,招远县仍归沁源县。唐玄宗(李隆基)天宝元年(公年742年)改沁州为阳城郡。领沁源、和川、绵上。唐肃宗(李享)乾元初复称沁州,故治在沁源县。
        北宋时属威胜军,宋太宗(赵炅即匡义,亦名光义)太平兴国二年(公元977年)威胜军在铜乱柳石围中,即今沁县城置沁州,从此,沁州便从沁源迁到沁县,沁源县仍属沁州。
        金初沁源亦属沁州;金宣宗(完颜王旬)元光二年(公元1223年)始治谷州,谷州治在沁源。
        元世祖(忽必烈)至元年间废谷州,属沁州。
        明清时,仍属沁州,州治在今沁县城。民国三年(即公元1914年),沁源属冀宁道。民国十九年(公元1930年)废道,属山西省。
        1942年10月,在朱鹤岭以北地区分设绵上县,绵上县政府驻东村、赤石桥、水峪等地。
        1945年4月11日,沁源和绵上又合并为沁源县,县政府驻郭道镇。太岳区的岳北专署驻沁源城关。
        1949年太行区的长治专署和太岳区的岳北专署,合并为长治专署后,沁源县政府,从郭道迁到城关。
        1958年沁县和襄垣合并不久,又和沁源三县合并为沁州,县政府驻沁县城。
        1959年,沁县、沁源、襄垣又按原地分为三县,沁源县政府从沁县迁回城关镇(现改名为沁河镇)。